티씨케이 - SiC링 (낸드 식각 공정에 많이 사용)

1. 매출유형 

[제품군별 매출유형]

(단위 : 백만원,%)

사업부문	매출유형	제품군	23년 3분기		22년 3분기
			매출액	비율	매출액	비율
Graphite부문	제품	반도체용 고순도 흑연제품	20,316	12.3%	23,833	9.7%
		태양광용 고순도 흑연제품	1,015	0.6%	680	0.3%
Susceptor부문		LED 및 반도체 부품 외	11,880	7.2%	13,680	5.6%
Solid SiC부문		반도체 공정 부품	130,614	79.3%	204,481	83.5%
기타부문	상품	HEATER 등	940	0.6%	2,200	0.9%
합계			164,766	100.0%	244,874	100.0%

- 고순도 흑연(Graphite)을 이용한 반도체 및 태양전지용 실리콘 잉곳을 생산하는 Growing 장비용 Graphite 부품(이하 고순도 흑연 제품)을 국내 최초로 국산화하여 제조, 판매

- ALD 장비에 들어가는 Susceptor류

- LED Chip 생산용 Wafer Carrier를 제조, 판매

 

가. 매출실적

(2023년 09월 30일 현재)

(단위 : 백만원)

사업부문	매출유형	품 목		제 29기 3분기	제 28기	제 27기
탄소제품	제품	반도체용	수 출	6,466	9,694	9,576
			내 수	13,851	20,756	15,545
			합 계	20,316	30,450	25,121
		태양광용	수 출	386	313	-
			내 수	629	587	379
			합 계	1,015	900	379
		Susceptor류 (LED 및 반도체부품)	수 출	6,797	6,274	1,360
			내 수	5,083	10,612	14,082
			합 계	11,880	16,886	15,441
		Solid SiC류	수 출	77,266	181,901	135,863
			내 수	53,348	86,629	91,173
			합 계	130,614	268,530	227,036
	상품	HEATER 등	수 출	4	113	16
			내 수	936	2,684	2,773
			합 계	940	2,797	2,789
합 계			수 출	90,919	198,295	146,814
			내 수	73,847	121,268	123,953
			합 계	164,766	319,563	270,767

 

참고 : 

A. CVD-SiC Ring

- Plasma에 대한 높은 내화학성과 내마모성이 강함.
- 초 고순도 제품으로 Particle 발생이 없음.
- Silicon, Aluminum 등과 같은 금속과의 확산이 거의 없음.

 

ㅁ SiC 포커스 링 위치

 

#포커스링 #일렉트로드 #샤워헤드 #아우터링

 

ㅁ 반도체 부품 : 챔버 및 챔버 내 부품 모식도

 

ㅁ 실리콘 링과 SiC 링 비교