하나머티리얼즈 - Si Electrode, Si-Ring, SiC-Ring

ㅁ 반도체의 핵심 제조공정인 에칭(식각)공정에 사용되는 소모성 부품

1. 반도체 등의 제조공정에 사용되는 실리콘 부품(Si-Parts)사업과

2. 신규사업인 실리콘카바이드사업(SiC-Parts)으로 구성

 

ㅁ 사업부문구분구분주요 제품

반도체 장비 부품	지배회사	실리콘부품	Electrode, Ring, Tube, Disk, Ingot 등
		SiC	SiC Ring 등
신기술사업금융	종속회사	신기술사업 투자 등	-

 

가. 매출실적

사업부문매출유형품목구분            ( 단위 : 백만원 )                       제17기 3분기                   제16기              제15기

부품	제품	실리콘부품 (Electrode, Ring)	수출	53,943	113,965	91,153
			내수	106,200	156,582	159,046
			합계	160,143	270,547	250,199
		기타	수출	4,901	4,757	3,256
			내수	20,042	30,541	16,066
			합계	24,943	35,298	19,322
	상품 외		수출	46	43	361
			내수	1,569	1,436	1,219
			합계	1,615	1,479	1,580
	소계			186,701	307,324	271,101
총 합 계			수출	58,890	118,765	94,770
			내수	127,811	188,559	176,331
			합계	186,701	307,324	271,101

 

Electrode	Dry Etching	·Gas를 통과시켜 Si Wafer의 표면에 각종 가스를    일정하게 분사시켜 주는 역할
Ring	Dry Etching	·챔버(Chamber)내에서 플라즈마가 정확한 위치로   모여지도록 하는 역할 ·Electrode를 웨이퍼에 평행하게 고정시켜주는 역할