램리서치 - 식각장비 (유전체, 전도체 식각 장비)

램리서치의 대표 장비는 주로 식각 장비로, 특히 전도체와 유전체 식각 장비가 주요 제품입니다. 이 장비들은 첨단 반도체 소자의 제작에 필수적이며, 램리서치의 매출 비중에서도 중요한 부분을 차지합니다.

 

1. 전도체 식각 장비:

램리서치의 Kiyo 제품군은 전도체 식각에서 중요한 역할을 합니다. 이 장비는 반응성 이온 식각(RIE) 기술을 사용하여 반도체 소자의 전기적 "활성" 재료를 정밀하게 형성합니다. 이는 매우 작은 피처를 정밀하게 만들 수 있도록 도와주며, 트랜지스터와 같은 전기적 구성 요소의 형상을 정밀하게 만드는 데 사용됩니다.

 

2. 유전체 식각 장비:

Flex 제품군은 유전체 식각에서 중요한 역할을 하며, 원자층 식각(ALE) 기술을 통해 절연체 물질을 선택적으로 제거합니다. 이는 절연 구조물을 형성하고, 전도성 부품을 보호하는 데 사용됩니다.

 

이러한 식각 장비들은 램리서치의 매출에서 높은 비중을 차지하며, 반도체 제조에서 매우 중요한 역할을 합니다. 특히, 램리서치는 파운드리 분야에서 큰 비중을 차지하고 있으며, 이는 비메모리 반도체 제조에 필요한 장비 공급에서의 강점을 나타냅니다