도쿄일렉트론 - 유전체 식각장비, 코터/디벨로퍼 장비, 증착장비

도쿄일렉트론의 주요 장비는 반도체 제조 공정의 다양한 단계에서 사용됩니다. 이 회사는 특히 식각 장비와 코터/디벨로퍼 장비에서 두각을 나타내고 있습니다. 이러한 주요 장비들을 통해 반도체 제조 공정의 거의 모든 단계에 걸쳐 장비를 공급하며, 글로벌 반도체 제조사들과 긴밀한 협력 관계를 유지하고 있습니다.

주요 장비
1. 식각 장비:
도쿄일렉트론은 식각 장비 분야에서 강력한 경쟁력을 가지고 있으며, 이는 반도체 회로를 형성하기 위해 불필요한 물질을 제거하는 데 사용됩니다. 식각 장비는 매출 비중에서 39%를 차지하며, 램리서치와 함께 시장 점유율 2~3위를 다투고 있습니다. 

 

도쿄일렉트론은 유전체 식각 장비에 강점을 가지고 있습니다. 이 회사는 특히 옥사이드 에처와 다이렉트렉 에처 분야에서 강력한 기술력을 보유하고 있으며, 이는 유전체 식각 장비의 주요 카테고리입니다. 이러한 기술력은 도쿄일렉트론이 반도체 제조 공정에서 유전체 물질을 정밀하게 제거하는 데 필요한 장비를 제공하는 데 기여하고 있습니다.

 

2. 코터/디벨로퍼 장비:
이 장비는 반도체 제조 공정에서 포토리소그래피를 위한 감광성 물질을 웨이퍼에 도포하고 현상하는 데 사용됩니다. 도쿄일렉트론의 코터/디벨로퍼 장비는 시장 점유율 89%로 독점적인 위치를 차지하고 있으며, 특히 EUV 노광장치와 함께 사용됩니다.

 

3. 증착 장비:
증착 장비는 원자층 증착(ALD), 화학 기상 증착(CVD) 등을 통해 웨이퍼 표면에 얇은 막을 형성하는 데 사용됩니다. 이 장비는 매출 비중에서 21%를 차지하며, 시장 점유율 2~3위를 기록하고 있습니다.