불화수소(HF) - 솔브레인. 이엔에프테크놀로지

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불화수소(HF)란 무엇일까?

고순도 플루오린화수소는 반도체 제조 과정에서 반드시 필요한 재료이다. 반도체에는 웨이퍼(Wafer)라는 원판이 있는데 바로 여기서 다양한 기능을 처리하고 저장하는 반도체 잡적회로가 만들어진다.

그 다음으로는 웨이퍼를 잘 세척하고 회로를 새겨야 한다. 이 과정을 에치(etch)라고 하는 데, 이때 세척에 쓰이는 가스, 즉 에칭가스가 바로 플루오린화수소이다.​

반도체에는 아주 적은 양의 불순물만 있어도 회로가 손상되고 성능이 저하될 수 있기 때문에 순도 99.999% 이상의 초고순도의 불화수소를 사용한다. 반도체 회로가 복잡할수록 높은 순도의 에칭가스가 필요하며 당연히 순도가 높을수록 플루오린화수소의 가격도 비싸다. 초고순도 플루오린화수소는 일본이 전 세계 생산량의 70%를 공급하고 있다.