[함께배우기] 50일차, 반도체 배우기. EUV와 함께하는 기업분석 PART2 (에스앤에스택,에프에스티,파크시스템스) - YouTube
DUV용 펠리클은 FST가 만듬
펠리클이 없으면 파크시스템스의 마스크 파티클 제거 설비도 필요함. 마스크에서 직접 파티클을 제거함.
5. 에프에스티
국내 펠리클 점유율 1위는 DUV용(ArF)임.
관계회사 이솔은 레이저텍과 같은 장비를 만듬. 에프에스티의 장점은 관계회사가 관련 장비를 만든다는 것.
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