Part6. 전공정 장비 3대장 분석!(넥스틴, 파크시스템스, HPSP)

[함께배우기] 20일차, 반도체 함께 배우기 Part6. 전공정 장비 3대장 분석!(넥스틴, 파크시스템스, HPSP) - YouTube

 

 

1. 넥스틴 : 계측장비

검사 방법에 두 가지가 있음. 하나는 Bright-field, 나머지는 Dark-field. 중요 공정 모니터링에는 브라이트 필드 방식이 사용됨. 두 방식은 사용용도가 다르기에 각각 모두 중요.

하나의 공장에 브라이트 필드와 다크 필드 방식 장비가 모두 들어감. 다크 필드 장비가 더 많이 들어감. 적절히 필요에 따라 섞어서 사용. (검출하는 것이 다름)

넥스틴은 다크 필드 장비만 하고 있고, 다크 필드 장비 세계 1위는 KLA임. 

KLA는 최근 중국에 수출 못하게 막아서 넥스틴이 중국에서 수주를 많이 따고 있음. 

넥스틴도 브라이트 필드 장비 개발을 하는 중. 

넥스틴이 중국 말고 대만이나 삼성전자 수주를 많이 하는지가 중요 관건.

 

 

 

 

2. 파크시스템스 : 원자현미경

 

현재 원자현미경 1위는 BRUKER지만 경쟁력은 파크시스템스가 더 좋다고 함.

 

비접촉 방식은 파크시스템스가 유일.

 

 

3. HPSP

게이트소자를 폴리실리콘에서 메탈소재로 바꿈. 

그런데 

독점 구조 유지될 것 같은 이유 : 특허 30개 있고, 테스트 하는데 4년 정도 걸림. 

앞으로 미세공정이 늘어날 것.

전류 누설을 막기위한 higk-k 소재를 쓸 것이고, 여기서 발생하는 계면결함, 속도저하 문제를 해결할 수 있는 장비가 고압수소어닐링 장비다.

 

 

이 3개 회사의 밸류가 다른 장비 회사보다 비쌈. 

3 기업 모두 미세화 공정의 수혜기업들임. 

다만 넥스틴은 후발주자라 1등 기업을 따라잡아야 함. 

파크시스템스는 경쟁이 치열하지 않으면서도 사용 범위를 점점 확장하고 있음.

HPSP의 단점은 단일 장비 사업.