제우스 - 세정장비

1. 세정장비

  - 싱글 : 공정 단순, 친환경, 비용절감, 미세공정에 유리

  - 배치 : 3D 낸드 공정에 주로 사용

 

2. 세정 공정은 포토공정, 식각공정, 이온주입공정, 증착공정 등 각 공정이 진행될 때마다 세정이 이루어져야 함

  - 전체 공정 중 비중 10% 이상 (많게는 30% 까지도 상승)

 

3. HBM, 하이브리드 본딩 → 세정장비 수요 증가

   (TSV나 마이크로 범프 등 찌꺼기 세정 장비 들어감)