1. Descum장비 : 찌꺼기 제거 장비
- 노광 공정에서 감광액이 빛에 의해 사라지나 일부 찌꺼기(scum)가 잔류함. 이런 것을 제어가는 장비
- 본딩할 때 찌꺼기가 남는데 이런 것을 제거해주는 장비
2. 주요 자회사
- 피에스케이 (지분 32.76%)
- SEMIgear (지분 100%)
3. 리플로우장비
- Reflow : Flip Chip 공정에 사용
솔더볼(범프)을 용융시켜 평평하게 만들어 기판과 반도체 칩이 잘 접착할 수 있게 도와주는 장비
- Fluxless Reflow
ㄴ Flux(접착제)를 사용하지 않음
ㄴ 낮은 유지비, 친환경적, 우수한 성능
ㄴ Flux를 대체하는 추세
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