메카로 히터블록

히터블록은 반도체 제조 공정에서 중요한 역할을 하는 기능성 부품입니다. 

이 부품은 반도체 기판인 실리콘 웨이퍼에 열에너지를 균일하게 공급하는 데 사용됩니다. 

히터블록은 주로 CVD(기상화학증착) 및 ALD(원자층증착) 공정 중 챔버 내에서 고온을 유지하기 위해 사용됩니다. 

웨이퍼 표면의 온도에 따라 반응 가스들이 증착되는 정도가 달라지기 때문에, 히터블록의 성능은 공정의 수율에 직접적인 영향을 미칩니다.

 

메카로는 메탈 타입의 히터블록을 국산화하여 국내 시장에서 높은 점유율을 차지하고 있으며, 세라믹 타입 히터블록의 양산도 계획하고 있습니다. 메탈 타입 히터블록은 약 250℃까지 견딜 수 있는 반면, 세라믹 타입은 400℃까지 견딜 수 있어 초고온 공정에 적합합니다. 이러한 히터블록은 반도체 제조 공정에서 필수적인 소모성 부품으로, 메카로는 이 분야에서 국내 시장 점유율 1위를 기록하고 있습니다.

 

히터블록은 반도체 제조 공정에서 중요한 역할을 하는 부품으로, 주로 식각 공정과 증착 공정에서 사용됩니다.

증착 공정: 히터블록은 반도체 기판인 실리콘 웨이퍼에 열에너지를 균일하게 공급하여, 박막 증착이 균일하게 이루어지도록 돕습니다. 웨이퍼의 온도를 일정하게 유지함으로써 화학 기상 증착(CVD)이나 원자층 증착(ALD) 공정에서 증착되는 물질의 두께와 품질을 균일하게 유지할 수 있습니다.

식각 공정: 식각 공정에서도 히터블록은 웨이퍼의 온도를 조절하여 플라즈마 반응을 최적화합니다. 이는 식각 속도와 균일성을 높이는 데 중요한 역할을 합니다. 웨이퍼의 온도가 적절하게 유지되어야 반응 가스와의 화학적 반응이 최적화되며, 이는 식각 공정의 정밀성과 효율성을 높이는 데 기여합니다.

 

히터블록은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 일정한 온도로 가열하고 유지하는 핵심 부품으로, 메카로는 이 부품을 국산화하여 국내 시장에서 높은 점유율을 차지하고 있습니다.